ELMA laiteresurssit

ESD/Latch up

• ESD/Latch-up-testeri Thermo Keytek Zapmaster Mk.2   
• ESD-simulaattori EMC Partner ESD 3000    
• Punnusanturit 2 kpl
• Rengasanturi

ESD

• Ionisaattori Simco Aerostat PC 
• Kentänvoimakkuusmittari Wolfgang Warmbier EFM 022 
• Varausanalysaattori Monroe 288 
• Nopea kentänvoimakkuusmittari Trek 400 
• ESD-ranneke- ja jalkinetesteri Armeka A-750 
• ESD-maadoitusmittarisarja Megger BMM2000-ESD-KIT/R  

Mikroskoopit yms.

• Stereomikroskooppi Leica MZ 16 Plan Apo  
• Mikroskooppikamera Deltapix Infinity X 
• Mikroskooppikamera Olympus ColorView IIIu 
• Röntgen Phoenix x-ray Nanome|x + CT 
• Emissiomikroskooppi Hamamatsu Phemos-1000 
• Kemiallinen mikroskooppi Millbrook MiniSIMS  

Virta/signaalilähteet

• Modulaarinen DC-power Agilent N6700A  
• 14-bit funktiogeneraattori/ARB Agilent 33220A 
• 6 GHz vektorisignaaligeneraattori Rohde & Schwarz SMU200A 
• 40 GHz signaaligeneraattori Anritsu MG3694B 

Mittarit 

• Elektrometri Keithley 6514
• Nanovoltti/mikro-ohmimittari Agilent 34420A 
• Kosteus-lämpötilaloggeri Testo 175 TH-2  
• Kosteus-lämpötilamittari Vaisala HM70 
• PCI-skooppikortti National Instruments PCI-4070 
• PCI Express DAQ-kortti National Instruments PCIe-6259 
• Oskilloskooppi Tektronix 7704B 
• Impedanssi/materiaalianalysaattori Agilent E4991A 
• Vektorispektrianalysaattori Agilent E4446A 
• Antennimittari Promax Prolink 4C 

Olosuhdetestauslaitteet

• Olosuhdekaappi Espec EGNX12-6CWL 
• Lämpötilapakotuslaitteisto Thermonics-2500E  

Komponenttien aukaisu

•  Komponenttien aukaisulaite Ultra Tec ASAP-1 

Näytteen valmistuslaitteisto

• Hionta-, hiertämis- ja kiillotuslaitteisto Labopol 6
• Vakuumimuovituslaitteisto Epovac
• Kuuma- ja kylmävalutarvikkeet

Tietokonelaitteet ja ohjelmistot

• GPIB-Ethernet -muunnin Agilent E5810A 
• GPIB-Ethernet -muunnin National Instruments GPIB-ENET/100 
• Ohjelmointiympäristö National Instruments Labview 7.1 
• Ohjelmointiympäristö Agilent VEE 7.0 pro 
• Mittari”kirjasto” Agilent IntuiLink 
• Testo Comfort Software Basic PC
• MI70 Link Interface Software PC
• UPS APC BACK-UPS RS 1500VA 
• Wireless Ethernet Adapter ZyXEL ZyAIR G-405 

Muut

• Vahvistimet ja vaimentimet
• Kaapelit 
• kHz/MHz-mittauskortteja (PCI-express) ja USB2.0
• Esivahvistin, jännite- & kapasitanssijako 40 GHz
• Säädettävä alipäästösuodin 0.40 GHz

 ——————————————————————————————

 Laitteistojen yksityiskohtaiset tiedot

ESD/Latch-up-testeri Thermo KeyTek Zapmaster Mk.2SE   

• Käyttötarkoitus
      – HBM, MM, Latch-up testaus
• Ominaisuudet:
      – 256 pinninen
      – 2 teholähdettä sekä oma teholähde “curve tracer”
      – Digitaaliset ajurit pinneille 
• Valmistajan kotisivut
      – Thermo   

ESD-simulaattori EMC Partner ESD 3000

• Käyttötarkoitus
      – ESD simulointi
• Ominaisuudet
      – 32 kV purkautumistaso
      – Yhden impulssin toimintatila
      – Paristokäyttöinen
      – Täyttää standardien määritykset (esim. IEC 610000-4-2, ISO TR10605, MIL 883, GR-78-CORE, RTCA DO 160-D, IEC 61340-3-1 ja MIL-STD-1512)
• Käyttöönottovuosi
      – 2005
• Valmistajan kotisivut
      – EMC Partner  

ESD

Ionisaattori Simco Aerostat PC 

• Käyttötarkoitus
      – Varauksien neutralointi
• Muuta
      – Lämmitys, portaaton pyörimisnopeuden säätö
• Käyttöönottovuosi
      – 2004
• Valmistajan kotisivut
      – Simco  

Kentänvoimakkuusmittari Wolfgang Warmbier EFM 022

• Käyttötarkoitus
      – Sähkökentän voimakkuuden mittaus
• Muuta
      – Voidaan käyttää purkausaikamittarina
• Käyttöönottovuosi
      – 2004
• Valmistajan kotisivut
      – Wolfgang Warmbier  

Varausanalysaattori Monroe 288

• Käyttötarkoitus
      – ESD-atmosfäärin paikallinen mittaus eli ilman sähkönjohtavuus (ionitiheys)
• Mitattavat suureet
      – Staattinen jännite, aika
• Muuta
      – Varaustasapainon mittaus
• Käyttöönottovuosi
      – 2004

Nopea kentänvoimakkuusmittari Trek 400 

• Käyttötarkoitus
      – Potentiaalin (jännitteen) mittaus materiaalin pinnasta ilman kosketusta kohteeseen
• Ominaisuudet
      – Mittausalue: 0 -> ±2kV DC tai huippu AC
      – Mittaustarkkuus (Voltage Monitor Output): < ±0.05% lukemasta ±0.5V
      – Näyttötarkkuus (Voltage Display): < ±0.1% lukemasta ±1digit
      – Stabiliteetti: Muuttuminen ajan suhteen
            alle 100ppm/tunti, ei kasva
            alle 100ppm/°C
• Käyttöönottovuosi
      – 2005  
• Valmistajan kotisivut
      – Trek  

ESD-ranneke- ja jalkinetesteri Armeka A-750 

• Käyttötarkoitus
      – ESD jalkineiden ja rannekkeiden säännöllinen testaus
• Ominaisuudet
      – Mittaustarkkuus ±5% lämpötila-alueella +15…+35°C
      – Testausjännite 24V
      – Raja-arvot 750 kΩ…35MΩ
• Kalibrointiyksikkö A755
• Käyttöönottovuosi
      – 2006
• Valmistajan kotisivut
      – Armeka

ESD-maadoitusmittarisarja Megger BMM2000-ESD-KIT/R

• Käyttötarkoitus
      – EPA-alueen maadoitusmittaukset
• Käyttöönottovuosi
      – 2007
• Valmistajan kotisivut
      – Megger  

Mikroskoopit yms.

Stereomikroskooppi Leica MZ 16 Plan Apo 

• Käyttötarkoitus
      – Vika-analyysit, yleiskäyttö
• Objektiivit
      – 1.6x PLAN APO ja 0.5x PLAN
• Käyttöönottovuosi
      – 2004
• Valmistajan kotisivut
      – Leica  

Mikroskooppikamera Deltapix Infinity X 

• Käyttötarkoitus
      – Mikroskooppikamera 1.3/21 milj. pix
• Ominaisuudet
      – USB 2.0, TWAIN, liikkuva CCD
• Käyttöönottovuosi
      – 2004
• Valmistajan kotisivut
      – Deltapix  

Mikroskooppikamera Olympus ColorView IIIu 

• Käyttötarkoitus
      – Mikroskooppikamera
• Käyttöönottovuosi
      – 2005

Röntgen Phoenix x-ray Nanome|x + CT 

• Käyttötarkoitus
      – Komponenttien, moduulien (jne) tutkiminen hajottamatta kohdetta
• Ominaisuudet
      – 2D-röntgenjärjestelmä
            Erottelukyky = 300nm
            Geometrinen suurennos = 2000x
            Avoin putki high power, microfocus ja nanofocus toiminnoilla
            Manipulaattori 5 akselia (x, y, z, tilt ja rotate)
            Digitaalinen detectori
            Korkean resoluution kamera = 1.3 MPix
      – µCT-järjestelmä
            Erottelukyky alle 3µm pienillä komponenteilla
• Käyttöönottovuosi
      – 2005

Emissiomikroskooppi Hamamatsu Phemos-1000 

• Käyttötarkoitus
      – Mikroskooppijärjestelmä mikropiirien ja transistoreiden vuotovirtojen, ESD- ja latch-up vikojen paikantamiseen.
• Ominaisuudet
      – Optinen järjestelmä macrolinssillä, 3x NIR linssillä, kuvantamislinssillä
      – Motorisoitu linssinvaihtaja macrolinssin ja mikroskooppi objektiivi linssien välillä
      – Kaksoispyyhkäisy CCD kamera jäähdytyksellä
      – Spektrin alue 300 nm – 1100 nm
      – Resoluutio 1024 x 1024 pixeliä
      – Pixelin koko 13 x 13
      – Valotusaika 1 s – 9999 s
• Käyttöönottovuosi
      – 2006
• Valmistajan kotisivut
      – Hamamatsu  

Kemiallinen mikroskooppi Millbrook MiniSIMS

• Käyttötarkoitus
      – Sekundääri-ionimassaspektrometri, jolla tutkitaan näytteen pinnan kemiallista koostumusta.
      – Käytetään komponenttitason vika-analyyseissä
• Ominaisuudet
      – Massa-alue 3-300 daltonia
      – Massan erottelukyky massa-alueella m/dm > 100@ = 100 daltonia (10 valley)
      – Massan tarkkuus massa-alueella parempi kuin ±0.2 daltonia
      – Herkkyys > 500 cps/nA 98Mo+ +98MoO
      – Kuvan tarkkuus
            Johtaville näytteille < 10µm
            Eristäville näytteille < 50µm
• Käyttöönottovuosi
      – 2006
  

Virta/signaalilähteet

Modulaarinen DC-power Agilent N6700A 

• Käyttötarkoitus
      – Virran ja jännitteen syöttö ja mittaus
• Ominaisuudet
      – Triggeri, virtuaalikanavat, 4 modulipaikkaa
• Modulit
      – N6762A tarkkuusmoduli
            100W, 0-51 VDC, 3A, 0.1mV askel
• Käyttöönottovuosi
      – 2004
• Valmistajan kotisivut
      – Agilent   

14-bit funktiogeneraattori/ARB Agilent 33220A

• Käyttötarkoitus
      – Funktiogeneraattori / ARB
• Ominaisuudet
      – 14-bit, 20MHz, 64k, ARB
      – Tarkkuuskello, web-server, trig in/out, sync.
• Modulaatiot
      – AM, AF, PM, FSK, PWM
• Käyttöönottovuosi
      – 2004
• Valmistajan kotisivut
      – Agilent  

6 GHz vektorisignaaligeneraattori Rohde & Schwarz SMU200A

• Käyttötarkoitus
      – RF-vektorigenerointi 6 GHz asti   
• Ominaisuudet
      – Yleisimmät digiaaliset modulaatios, custom-IQ
• Käyttöönottovuosi
      – 2005
• Valmistajan kotisivut
      – Rohde & Schwarz  

40 GHz signaaligeneraattori Anritsu MG3694B

• Käyttötarkoitus
      – Yleiskäyttö RF- ja MW
• Modulaatiot
      – AM, FM, vaihe, pulssi
• Käyttöönottovuosi
      – 2005
• Valmistajan kotisivut
      – Anritsu   

Mittarit

Elektrometri Keithley 6514               

• Käyttötarkoitus: 
      – Varausten, suurten resistanssien ja
      – Pienten virtojen tarkka mittaus esim. ESD-mittaukset.
• Mitattavat suureet:
      – DC-jännite 10µV < U < 200V
      – DC-virta 0.1fA < I < 20mA
      – Resistanssi 10mΩ < R 200 GΩ
      – Varaus 10fC < Q < 20µC
• Käyttöönottovuosi:
      – 2004
• Valmistajan kotisivut:
      – Keithley   

Nanovoltti/mikro-ohmimittari Agilent 34420A 

• Käyttötarkoitus:
      – Pienet jännitteet, pienet resistanssit ja jännitesuhde tarkasti
• Mitattavat suureet:
      – U, R
• Käyttöönottovuosi:
      – 2004
• Valmistajan kotisivut:
      –Agilent  

Kosteus-lämpötilamittari Vaisala HM70 

• Käyttötarkoitus
      – Kosteuden ja lämpötilan mittaaminen tarkasti
• Muuta
      – MI70 Link Interface Software PC ohjelma
• Käyttöönottovuosi
      – 2004 
• Valmistajan kotisivut
      – Vaisala  

PCI-skooppikortti National Instruments PCI-4070 

• Käyttötarkoitus
      – Nopea disk-stream (max. 1.8M/sek.)
      – Erikoista triggausta vaativat mittaukset
• Mitattavat suureet
      – AC, DC, AC + DC, ACI, DCI, R, taajuus, dioditesti
• Käyttöönottovuosi
      – 2004
• Valmistajan kotisivut
      – National Instruments

PCI Express DAQ-kortti National Instruments PCIe-6259 

• Käyttötarkoitus
      – Monikanavamittaukset ja -generointi
• Mitattavat suureet
      – 32 kpl analogiatuloja (± 10V)
      – 4 kpl analogialähtöjä (± 10V)
      – 48 kpl TTL-tasoisia I/O kanavia
      – 2 kpl 32-bit laskurit 80 MHz
• Tarkkuus
      – AI 7 rangea 16 bit, AO 2 rangoa 16 bit
• Impedanssi
      – AI 10 GΩ, AO 0.2 Ω
• Käyttöönottovuosi
      – 2005
• Valmistajan kotisivut
      – National Instruments  

Oskilloskooppi Tektronix 7704B 

• Käyttötarkoitus
      – Vika-analyysi, ESD-tutkimus ja opetus
• Ominaisuudet
      – 7.2 GHz, 20 Gs/s, DPO, 8MB muisti, Pinpoint triggerit
• Virtaprobet
      – CT-1, CT-2 ja CT-6
• Jänniteprobet   
      – P6139A 2 kpl, P7313 2 kpl
• Adapterit
      – TCA-1MEG 2 kpl, TYPE-N, BNC;SMA 4 kpl
• Käyttöönottovuosi
      – 2004
• Valmistajan kotisivut
      – Tektronix  

Impedanssi/Materiaalianalysaattori Agilent E4991A 

• Käyttötarkoitus
      – Impedanssi- ja materiaalimittaukset
• Mitattavat suureet
      – Impedanssi |Z|, |Y|, L_s, L_p, C_s, C_p, R_s(R), R_p, X, G, B, D, Q, θ_z, θ_y, |Γ|, Γ_x, Γ_y, θ_γ
       – Permittiivisyys |ε_r|, ε_r’, ε_r’’, tanδ
      – Permeabiliteetti |μ_r|, μ_r’, μ_r’’, tanδ
• Mittausalue
      – 130mΩ < |Z| < 20kΩ
• Taajuusalue
      – 1MHz – 3 GHz, resoluutio 1 mHz
• Käyttöönottovuosi
      – 2004
• Valmistajan kotisivut
      – Agilent  

Vektorispektrianalysaattori Agilent e4446A 

• Käyttötarkoitus
      – RF-mittaukset 3 Hz….44 GHz
• Ominaisuudet
      – TDMA: GSM, GPRS, EDGE, Wi-MAX, TETRA, Bluetooth)
      – CDMA: W-CDMA sekä USA:n, Kiinan, Korean ja Japanin vastaavat)
      – CSMA-CA: WLAN, UWB
      – Multicarrier: OFDM
      – Demodulointi: FSK-, PSK- ja QAM-variaatiot
      – Optiot: 1DS, 219, 226, AYZ, B7J, H70
• Käyttöönottovuosi
      – 2005
• Valmistajan kotisivut
      – Agilent     

Antennimittari Promax Prolink 4C 

• Käyttötarkoitus
      – 75 ohm tv-antennit ja kaapelimittaukset
• TV-järjestelmät (lomitus, väritys, ääni)
      – PAL (Eurooppa)
      – SECAM (Ranska, Itä-Eurooppa)
      – NTSC (USA, Japani)
• Digitaalivirittimet (dekooderit)
      – TV: DVB-T (ilma), DVB-C (kaapeli), DVB-S (satelliitti)
      – Radio: NICAM, RDS
• Mittaukset
      – BER-mittaus, tehomittaus, skalaarispektri, QAM ja OFDM konstellaatiokuvat, signaali-kohinasuhde
• Muuta
      – Akkukäyttöinen, värinäyttö, mastovahvistimen DC-syöttö, maksukortti, kaiutin, scart-liitin
• Käyttöönottovuosi
      – 2005
• Valmistajan kotisivut
      – Promax  

Olosuhdetestauslaitteet

Olosuhdekaappi Espec EGNX12-6CWL

• Käyttötarkoitus
      – Olosuhdetestaus, luotettavuustestaus
• Ominaisuudet
      – Lämpötilan muutosnopeus 10ºC/m
      – Lämpötila-alue -70ºC -> 180ºC
      – Kosteusalue 10-95%
• Kammion koko 380 L (600mm x 742mm x 850mm)
• Käyttöönottovuosi
      – 2006
• Valmistajan kotisivut
      – Espec

Thermostreamer Thermonics-2500E 

• Käyttötarkoitus
      – Testit eri lämpötiloissa, voidaan käyttää yhdessä Zapmaster Mk.2:n kanssa
• Ominaisuudet
      – Lämpötila-alue -80ºC -> +225ºC
      – Nopeus +125ºC -> -55ºC 10 sekuntia
• Käyttöönottovuosi
      – 2005
• Valmistajan kotisivut
      – Thermonics  

Komponenttien aukaisu

Komponenttien aukaisulaite Ultra Tec ASAP-1 + Ultracollimator

• Käyttötarkoitus
      – Mekaaninen komponenttien aukaisu
• Ominaisuudet
      – Voidaan aukaista komponentti sekä ylä- että alapuolelta
      – Aukaistava komponentti voi olla juotettuna piirilevylle aukaisun aikana
      – Tyypillisiä aukaistavia kotelointeja/materiaaleja ovat mm. BGA, QFP, PGA, keraami, muovi, flip ship
• Käyttöönottovuosi
      – 2006
• Valmistajan kotisivut
      – Ultra Tec